伺服行星減速機的主體結(jié)構(gòu)有：行星輪，太陽輪以及內(nèi)齒圈。相對于其他減速機，伺服行星減速機具有高剛性、高精度（單級可做到1分以內(nèi)）、高傳動效率(單級在97%-98%)、高的扭矩/體積比、終身免維護等特點。多數(shù)是用于安裝在步進電機和伺服電機上，用來降低轉(zhuǎn)速，增大扭矩。由于結(jié)構(gòu)的原因,單級的減速最小為3,最大一般不超過10。

  行星齒輪傳動裝置的重量一般與齒輪的重量是成正比的，而齒輪的重量又與其材料和熱處理的硬度有很大關(guān)系，因而這類減速機上廣泛采用硬齒面齒輪。得到硬齒面齒輪的方法主要有：表面淬火，滲碳淬火和滲氮等，需要根據(jù)行星齒輪減速機的具體情況進行考慮選定。

1、表面淬火，常見的方法有高頻淬火（對小尺寸齒輪）和火焰淬火（對大尺寸齒輪）兩種。需要注意的是表面淬火的淬硬層能包括齒根底部時，效果會更好。

2、滲碳淬火，這類加工的齒輪具有相對更大的承載能力，但必須采用精加工如磨齒來消除熱處理引起的變形問題，以確保精度。滲碳淬火在改善輪齒的彎曲疲勞強度方面作用明顯，除了能使核心部位的硬度有所提高外，還能更好地應(yīng)對齒輪表面的殘余壓應(yīng)力，可使輪齒的最大拉應(yīng)力區(qū)的拉應(yīng)力變小。因此磨齒時不能磨到齒根部分，所以一般滾齒時要再用留磨量進行滾刀。

3、滲氮，可保證輪齒在變形最小的條件下達到較高的齒面硬度和更好的耐磨性，而且熱處理后不用再進行最后的精加工，就提高了承載能力。這一特點對于不易磨齒的內(nèi)齒輪來說，非常重要。

4、想嚙合齒輪的硬度組合，當(dāng)大、小齒輪均為軟齒面齒輪時，一般小齒輪的齒面硬度應(yīng)大于大齒輪。而當(dāng)兩輪均為硬齒面齒輪且硬度較高時，則應(yīng)是兩輪硬度相同。